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행사명 : 2014 경남창원기술거래장터 일시 : 2014-10-21 주관 : 창원상공회의소, 경남테크노파크
 
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플라즈마를 이용한 이종 접합의 비선택적 식각 방법
플라즈마를 이용한 이종 접합의 비선택적 식각 방법
이제원  
10-1290828
 
 
 
 
 
  본 기술은 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 이종 접합의 비선택적 식각 방법이다. 펄스 직류 전원을 이용하여 BCl3 또는 BCl3 / 비활성기체를 사용한다.
본 식각방법은 하나의 공정 조건을 순차적으로 식각 할 수 있어 공정이 단순해지고 펄스 직류 전원을 사용해 전기적 간섭이 없어서 안전할 뿐만 아니라 비활성 기체(아르곤, 질소, 네온)를 사용해 가스 재료비를 절감할 수 있다.

 

 
[그림 1] GaAs/AlGaAs 구조의 비선택적 식각 전, 후의 단면 개념도
     
• 플라즈마 사용으로 AlGaAs에 대한 GaAs 비선택적 식각이 가능함

• 펄스 직류 전원을 사용하여 반응기 내부의 센서들에 전기적인 간섭이 거의 없어 안전하며 장치가 간편하다.

• 식각 가스로는 BCl3, 비활성 기체의 혼합가스를 사용한다.
  • 건식 식각으로 미세 공정이 가능하며 깨끗하고 안전함

• 건식 식각으로 공정 자동화가 쉬움

• 대량 생산시 BCl3가스 재료비 절감이 가능함

 

 [그림 2] 플라즈마 처리장치의 구조  
 
  ■ 적용 분야

- GaAs / AlGaAs 반도체 제조 공정
- 레이저 / 무선 통신용 화합물 반도체
- 태양전지

 [그림 3] 세계 반도체 시장 전망  
 
  ■ 지식재산권

1. 플라즈마를 이용한 G a A S/ A l G a A s 이종 접합 구조의 비선택적 식각 방법 (10-1290828)
2. 펄스 직류 전원을 이용한 플라즈마 처리장치(PLASMA PROCESSING EQUPIPMENT USING PULSE DC POWER) (10-1195859)

  
 
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