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행사명 : 2014 경남창원기술거래장터 일시 : 2014-10-21 주관 : 창원상공회의소, 경남테크노파크
 
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연구자 정보
사진
연구자명 이제원 직함 교수 소속기관 인제대학교
전화번호 이메일
번호 연구실명
1 인제대학교 나노소자 및 시스템실험실
번호 기술명
1 플라즈마를 이용한 이종 접합의 비선택적 식각 방법  
주 제 세부내용
나노소자 화합물 반도체 플라즈마 공정
나노소자 새로운 플라즈마 장치
나노소자 반도체 및 광학박막 증착 기술
나노소자 플라즈마 표면 처리 기술
분 류 세부내용
PCT 특허 Plasma Processing Equipment with a Leakage Current Transformer
국내 특허 Plasma Processing Equipment Using Pulse DC Power
국내 특허 Plasma Equipment for Treating Powder/Capsules Surface
국내 특허 Dry-Etching Method by Low Pressure Capacitively Coupled Plasma
연 도 세부내용
 
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